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电子器件(半导体芯片)制作业洁净出产评估方针系统

1 合用规模

      本评估方针系统划定了电子器件制作业中硅基半导体芯片制作出产企业(出产线)洁净出产的普通请求。本方针系统将洁净出产方针分为六类,即出产工艺装备及手艺、资本动力耗损方针、资本综合操纵方针、净化物发生方针、产物特点方针、洁净出产办理方针。

      本方针系统合用于电子器件制作业中硅基半导体芯片制作出产企业(出产线)的洁净出产查核、洁净出产潜力与机遇的判定和洁净出产绩效评定和洁净出产绩效通知布告轨制,也合用于情况影响评估、排污允许证、环保领跑者等情况办理轨制。

2 规范性援用文件

      以下文件对本文件的操纵是必不可少的。但凡注日期的援用文件,仅注日期的版本合用于本文件。但凡不注日期的援用文件,其最新版本(包罗一切的点窜单)合用于本文件。

      GB/T 14204-1993 水质烷基汞的测定气相色谱法

      GB/T 24001 情况办理系统请求及操纵指南

      GB/T 26125 电子电气产物六种限用物资(铅、汞、镉、六价铬、多溴联苯和多溴二苯醚) 的测定

      GB/T 26572 电子电气产物中限用物资的限量请求

      GB 18599 普通财产固体废料储存、措置场净化节制规范

      HJ 540-2009 情况氛围和废气砷的测定二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法

      HJ 666-2013 水质氨氮的测定勾当打针-水杨酸分光光度法

      HJ 700-2014 水质65种元素的测定电感耦合等离子体质谱法

      HJ/T 91-2002 地表水和污水监测手艺规范

      HJ/T 194-2005 情况氛围品质手工监测手艺规范。

      HJ/T 399-2007 水质化学需氧量的测定疾速消解分光光度法

      《洁净出产评估方针系统体例公例》(试行稿)(国度成长鼎新委、情况掩护部、财产和信息化部2013年 第33号通知布告)

      《财产布局调剂指点目次(2013年批改)》(国度成长鼎新委2013年 第21呼吁)

3 术语和界说

      《洁净出产评估方针系统体例公例》(试行稿)所成立的和以下术语和界说合用于本方针系统。

3.1 洁净出产

      指不时接纳改良设想、操纵洁净的动力和质料、接纳前进前辈的工艺手艺与装备、改良办理、综合操纵等办法,从泉源增添净化,前进资本操纵效力,削减或防止出产、办事和产物操纵进程中净化物的发生和排放,以加重或消弭对人类安康和情况的风险。

3.2 办理方针

      指企业实行洁净出产应知足的相干办理划定请求的方针,包罗:成立情况办理系统、展开节能勾当、展开洁净出产查核勾当、建立洁净出产前进前辈企业勾当等。

3.3 方针基准值

      为评估洁净出产程度所肯定的方针对比值。

3.4 一级方针权重值

      指权衡各一级评估方针项在洁净出产评估方针系统中的首要程度的值。

3.5 二级方针分权重值

      指按照二级方针项在企业出产进程中对洁净出产程度影响巨细程度而肯定的值。

3.6 二级方针基准值分级

      按照洁净出产须要,为评判电子器件制作企业洁净出产程度将二级方针基准值别离为三个差别的级别,别离代表国际洁净出产抢先程度、国际洁净出产前进前辈程度和国际洁净出产普通程度。

3.7 限用物资

      法令律例或主顾请求在电子电气产物中限定操纵的有毒无害物资。

3.8 臭氧层耗损物资

      指粉碎臭氧层物资,首要包罗氟氯化碳,三氯乙烷,三氯乙烯、三氯乙炔和四氯化碳等。

3.9 挥发性无机物

      指温度为293.15K、蒸汽压大于或即是0.01KPa时,可挥发性无机化合物的总称,但不包罗甲烷。

3.10 新颖水量

      新水量指出产中每产出单元面积制品所耗用的新颖水量,即取自自来水、地表水、公开水水源被第一次操纵的水量,不包罗主体工程反复操纵的和轮回操纵的水量、余热发电及帮助出产举措措施用水量。

3.11 废水量

      指出产举措措施或企业排放到企业法定边境外的废水量,包罗与出产有直接或直接干系的各类外排废水(含厂区糊口污水、冷却废水、厂区汽锅和电站废水等)。

3.12 风险烧毁物

      指产物出产进程中发生的具备以下景象之一的固体废料(包罗固体容器艳服的液态废料):

      (一)具备侵蚀性、毒性、易燃性、反应性或传染性等一种或几种风险特征的;

      (二)不解除具备风险特征,能够对情况或人体安康形成无害影响,须要按照风险废料停止办理的;

      (三)参加国度风险废料名录(2016年版)中的。不在名录的按照国度风险烧毁物判定流程肯定。

3.13 单元产物电耗

      指半导体出产芯片企业出产装备每出产单元面积产物所耗损的电能。

3.14 单元产物净化物发生量

      指半导体芯片制作企业出产单元面积产物所发生净化物的量,这些净化物是在出产线排放出进入结尾处置举措措施之前的烧毁物(废液、废气或固体废料)中,需监测结尾处置前烧毁物中的某种净化物,本方针系统首要包罗废水,总砷,烷基汞,化学需氧量,氮氨、臭氧层粉碎物资和风险废料等。

4 评估方针系统

      本方针系统在工场产能到达其设想产能80%(包罗)以上时合用。

4.1 方针拔取申明

      按照洁净出产的准绳请求和方针的可怀抱性,停止本评估方针系统的方针拔取。按照评估方针的性子,分为定量方针和定性方针两类。

      定量方针拔取了具备代表性、能反应“节能”、“降耗”、“减污”和“增效”等有关洁净出产终究方针的方针,综合考评企业实行洁净出产的状态和企业洁净出产程度。定性方针按照国度有关奉行洁净出产的财产成长和手艺前进政策、资本情况掩护政策划定和行业成长计划等拔取,用于查核企业履行相干法令律例和规范政策情况。

4.2 方针基准值及其申明

      各方针的评估基准值是权衡该名方针是不是合适洁净出产根基请求的评估基准。

      在定量评估方针中,各方针的评估基准值是权衡该名方针是不是合适洁净出产根基请求的评估基准。外行业洁净出产评估方针系统中,评估基准值分为Ⅰ级基准值、Ⅱ级基准值和Ⅲ级基准值三个品级。此中Ⅰ级基准值代表国际抢先程度;Ⅱ级基准值代表国际前进前辈程度;Ⅲ级基准值代表国际普通程度。

      在定性评估方针系统中,权衡该名方针是不是贯彻履行国度有关政策、律例的情况,按“是”或“否” 两种挑选来评定。

4.3 方针系统

      集成电路芯片和分立器件芯片制作企业洁净出产评估方针系统手艺请求内容见表1。因为差别尺寸集成电路芯片和分立器件芯片加工庞杂度还与加工层数相干,是以本指南表1中各尺寸芯片方针值是在以下加工层数下测算出的,别的加工层数各尺寸集成电路芯片和分立器件芯片洁净出产方针值可参考本指南按加工层数比例公道自行测算。

      Ø 12英寸芯片及分立器件芯片:35层;

      Ø 8英寸芯片及分立器件芯片:30层;

      Ø 5~6英寸芯片及分立器件芯片:20层;

      Ø 4英寸及以下分立器件芯片:10层。

     ; 薄膜晶体管液晶显现器(TFT-LCD)制作企业洁净出产评估方针系统手艺请求内容见表2。

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